电子工程检测装置有哪些

电子工程检测装置种类繁多，以下是一些常用的电子工程检测装置：

显微镜

光学显微镜：用于观察元器件的表面和内部结构，检查是否存在裂纹、变形、氧化等问题。

电子显微镜（SEM）：提供高分辨率的元器件表面图像，并进行元素成分分析。

扫描电子显微镜（SEM）

用于观察元器件表面结构，确定表面是否存在缺陷、氧化等问题，并提供高分辨率图像及元素成分分析。

能谱仪

X射线能谱仪：用于分析元器件中的元素成分，确定是否存在元素不均匀、元素含量不足等问题。

电子能谱仪：同X射线能谱仪，用于元素成分分析。

电子探针

用于分析元器件中的元素成分，确定元素均匀性和含量，提供高分辨率图像及元素成分分析。

热分析仪

热重分析仪：用于分析元器件的热性能，确定其热稳定性。